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日立掃描電子顯微鏡S-3400N型具有新開發(fā)的電子光學(xué)系統(tǒng)，強(qiáng)大的自動(dòng)化功能，操作更簡(jiǎn)易。

一、日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的特點(diǎn)

1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能，包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、
自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度等。
2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。
3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。
4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺(tái)，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品可達(dá)80mm。
5. 分析樣品倉可以同時(shí)安裝EDX ， WDX 及EBSD。
6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。

二、日立掃描電子顯微鏡S-3400N型的技術(shù)指標(biāo)

項(xiàng)目	描述
SE分辨率	3.0nm (30kV)，高真空模式 10nm (3kV), 高真空模式
BSE分辨率	4.0nm (30kV)，低真空模式
放大倍率	x5 ~ x300,000
加速電壓	0.3 ~ 30 kV
低真空范圍	6 ~ 270 Pa
樣品尺寸	直徑200mm
樣品臺(tái)	I型	II型
X	0 ~ 80mm	0 ~ 100mm
Y	0 ~ 40mm	0 ~ 50mm
Z	5 ~ 35mm	5 ~ 65mm
R	360º	360º
T	-20º~ +90º	-20º ~ +90º
樣品高度	35mm (WD=10mm)	80mm (WD=10mm)
驅(qū)動(dòng)類型	手動(dòng)	五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
燈絲	預(yù)對(duì)中鎢燈絲
物鏡光欄	可移動(dòng)式4孔物鏡光欄
槍偏壓	固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏
檢測(cè)器	二次電子檢測(cè)器高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
分析位置	WD=10mm, TOA=35o
控制	鼠標(biāo)、鍵盤，手動(dòng)旋鈕
自動(dòng)調(diào)校	自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度