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北京北方大河儀器儀表有限公司


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BROOKS 9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器

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產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地北京市

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更新時間：2022-10-27 10:01:31瀏覽次數(shù)：291次

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經(jīng)營模式：其他

商鋪產(chǎn)品：112條

所在地區(qū)：北京北京市

產(chǎn)品簡介

9861系列高溫質(zhì)量流量控制器和儀表提升高溫流量控制的準確性和效率布魯克斯儀器9861系列高溫熱質(zhì)量流量控制器和儀表專為在高溫相關苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設計，該產(chǎn)品采用高純度、無泄漏一體化金屬流路，可確保兼容過程氣體和蒸汽

詳細介紹

9861 系列高溫質(zhì)量流量控制器和儀表

提升高溫流量控制的準確性和效率

布魯克斯儀器 9861 系列高溫熱質(zhì)量流量控制器和儀表專為在高溫相關苛刻條件下輸送可冷凝前體和摻雜劑設計，該產(chǎn)品采用高純度、無泄漏一體化金屬流路，可確保兼容過程氣體和蒸汽。 IsoSensor™ 是一種穩(wěn)定性的流量傳感器，可兼容加熱氣體管線和烘干系統(tǒng)中苛刻的環(huán)境溫度。IsoSensor™ 傳感器的低漂移性能可使高溫應用無需頻繁重新調(diào)零和重新校準。

9861

特點

  • 穩(wěn)定的 IsoSensor™ 流量測量傳感器
  • 高純度流路
  • 遠程控制電子元件（標配兩個模擬電子連接器）
  • 數(shù)字測量和控制架構

優(yōu)勢

  • 傳感器穩(wěn)定性高，可保障運行時間、減少維護工作并降低總體擁有成本
  • 全金屬接液流路可確保氣體/蒸汽完整性和純度
  • 包括 20 引腳卡緣連接器和 9/15 引腳“D"連接器，可實現(xiàn)標準化并減少庫存
  • 強化準確性和過程控制

應用

  • 光纖制造 – MCVD
  • 硅材料半導體器件加工工藝


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