1，配備大族自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的355nm紫外激光器，該切割設(shè)備性能穩(wěn)定，光斑好，適應(yīng)長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行；2，可靠高精度的X-Y-Z-θ工作臺(tái)及出色的加速減速性能可有效提高系統(tǒng)的單位時(shí)間生產(chǎn)率；3，通過(guò)真空吸附，晶片在平臺(tái)移動(dòng)期間不能移動(dòng)；4，通過(guò)晶圓上的標(biāo)記點(diǎn)來(lái)定位晶圓片，可以確保切割精度；5，高效靈活的軟件操作系統(tǒng)界面簡(jiǎn)潔，操作方便；6，自動(dòng)上下料，機(jī)械手取放料，帶有自動(dòng)尋邊功能。

詳細(xì)介紹

應(yīng)用:

適用于2'', 4'', 8'', 12'' 的晶圓切割處理

規(guī)格：

機(jī)器型號(hào)	HDZ-WUVC100	HDZ-WUVC200
激光器功率	15W	15W
激光波長(zhǎng)	355nm	355nm
XY軸重復(fù)定位精度	±1µm	±1µm
θ軸重復(fù)定位精度	±15s	±15s
切割線寬	>15µm	>15µm
切割深度	>25µm	>25µm
切割速度 (不同產(chǎn)品切割速度有所不同)	100mm/s	100mm/s
上下料方式	手動(dòng)	機(jī)械手取放，自動(dòng)尋邊
加工產(chǎn)品類型	2'' - 12'' 晶圓	2'' - 12'' 晶圓
供電	AC 220V，50Hz	AC 220V，50Hz

以上信息由企業(yè)自行提供，信息內(nèi)容的真實(shí)性、準(zhǔn)確性和合法性由相關(guān)企業(yè)負(fù)責(zé)，包裝印刷網(wǎng)對(duì)此不承擔(dān)任何保證責(zé)任。溫馨提示：為規(guī)避購(gòu)買風(fēng)險(xiǎn)，建議您在購(gòu)買產(chǎn)品前務(wù)必確認(rèn)供應(yīng)商資質(zhì)及產(chǎn)品質(zhì)量。

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