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行業(yè)產(chǎn)品

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山東東南儀誠實(shí)驗(yàn)室設(shè)備有限公司


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更新時間：2023-07-15 08:42:27瀏覽次數(shù)：367次

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聯(lián)系人：曹經(jīng)理

產(chǎn)品簡介

特點(diǎn)●操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒

詳細(xì)介紹

特點(diǎn) 
●操作快捷方便：放入樣品收納盒、自動處理、取出收納盒。 
●軟性基板也可以進(jìn)行傳送操作。 
●傳送速度可在Hi-Low間調(diào)節(jié)?！窨赏ㄟ^網(wǎng)絡(luò)進(jìn)行遠(yuǎn)程操作（選購品）。
模式 RIE（DP模式選購）
高頻輸功率 600W
反應(yīng)臺尺寸 W385×D362mm
反應(yīng)氣體 2進(jìn)氣系統(tǒng)（氧氣、氬氣）
反應(yīng)氣體流量控制 質(zhì)量流量控制器
氣體導(dǎo)入口 反應(yīng)氣體2個、填充氣體1個、空氣1個
內(nèi)腔尺寸 W395×D378×H45mm（內(nèi)尺寸）
外形尺寸 W1860×D1100×H1800mm
真空泵 旋轉(zhuǎn)式真空泵（約500L/min）


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