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磁場消除系統(tǒng)(主動消磁器)HSR-2iX系列

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產(chǎn)品型號HSR-2iX系列

品       牌

廠商性質(zhì)其他

所  在  地深圳市

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更新時間:2024-11-16 01:58:46瀏覽次數(shù):36次

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商鋪產(chǎn)品:149條

所在地區(qū):

聯(lián)系人:陳冬

產(chǎn)品簡介

HSR2iX系列磁場消除系統(tǒng)由磁傳感器感知單元、磁場發(fā)生單元、磁場控制單元、顯控單元等構成。綜合了低噪聲磁敏感技術、消磁線圈優(yōu)化設計技術、磁場自動控制技術,實現(xiàn)了對寬頻帶雜散磁場的自動跟蹤補償,達到穩(wěn)定磁場的目的。根據(jù)具體用途,HSR2iX系列磁場消除系統(tǒng)具有三種不同型號:HSR-2i01、HSR-2i02和HSR-2i03。(特殊情況可定制)

詳細介紹

產(chǎn)品概述

HSR-2iX系列磁場消除系統(tǒng)說明

1、系統(tǒng)組成

磁場消除系統(tǒng)主要由磁傳感器感知單元、磁場發(fā)生單元、磁場控制單元、顯控單元等構成等幾部分組成。


2、工作原理

通過三分量磁場傳感器實現(xiàn)雜散磁場的感知,并將感知到的信號送入智能磁場控制單元;智能磁場控制單元實時產(chǎn)生一個電流信號,該電流通過磁場產(chǎn)生單元產(chǎn)生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場,在工作區(qū)實現(xiàn)了磁場的疊加從而得到穩(wěn)定的磁場環(huán)境。


3、磁場產(chǎn)生單元

磁場產(chǎn)生單元實際上就是三軸磁場線圈,該線圈用以產(chǎn)生與雜散磁場方向相反、大小相等的磁場。

磁場產(chǎn)生單元結構根據(jù)場地的需要可以多樣化安裝,一般有兩種結構。種是采用獨立的磁場線圈框架套在電鏡外側;第二種是無需要線圈框架,直接將消磁電纜穿入無磁線槽后固定在實驗室內(nèi)墻表面或埋入墻體。由于磁場是矢量,通常需要在X、Y、Z三個方向產(chǎn)生穩(wěn)定的磁場。

 

4、磁傳感器感知單元

綜合考慮磁場抵消后磁場的噪聲、穩(wěn)定性和抵消磁場帶寬的要求,選擇合適的三分量磁通門傳感器實現(xiàn)磁場感知功能?!疽杂脩魧嶋H要求或者勘測場地后測試數(shù)據(jù)為準】


5、磁場控制單元(Magnetic Control UNIT)

磁場控制單元是磁場消除系統(tǒng)的核心,主要通過高精度傳感器感知的磁場信號,進而通過快速跟蹤算法實時消除磁場的擾動,保證工作空間磁場基本處于穩(wěn)定無波動狀態(tài)。

磁場控制單元采用220V交流供電,非常容易在實驗室內(nèi)應用。  


6、顯控軟件

 顯控軟件主要有三大功能。

    (1) 數(shù)據(jù)實時顯示功能:實時顯示磁場的曲線數(shù)據(jù),便于評估磁場環(huán)境的質(zhì)量。

    (2) 超限報警功能:根據(jù)預設的磁場限制,進行報警。


★★★ 消除效果:

微信截圖_20210918144541.png

※衰減系數(shù):α= 20×lg(B1/B2)

※頻率越低,消磁效果越好,本實驗選取了 50Hz 的干擾比較實驗效果。

※X軸方向對 50Hz 干擾消磁前后對比

消磁前:0.069V×1000×10=690nT

消磁后:0.00019V×1000×10=1.9n

技術參數(shù)

型號

HSR2iO1

HSR2iO2

HSR2iO3

用途

消除所有類型電子顯微鏡的交流磁場

消除所有類型電子顯微鏡的交流和直流磁場

消除半導體潔凈室中CDSEM工具的12kHz磁場。也可以消除這些工具的交流和直流磁場

消磁線圏

干擾磁場消除繞組系統(tǒng)自檢繞組

固有地磁場消除繞組

干擾磁場消除繞組

系統(tǒng)自檢繞組

固有地磁場消除繞組

干擾磁場消除繞組

系統(tǒng)自檢繞組

待消除磁場

X,Y,Z磁場

X,Y,Z 磁場

X.YZ 磁場

磁場測量類型

AC RMS and pk-pk

Real time field

AC RMS and pk-pk

DC incremental

Real time field

AC RMS and pk-pk

DC incremental

測量精度

±0.5% Reading ± 100pT

±0.5% Reading ± 1 nT

±0.5% Reading ± 1 nT

磁場動態(tài)范圍

<60 mG 6.0µT)

<4.8 µT pk-pk

5 μT pk-pk

頻率帶寬

25 Hz 3kHz

DC 5 kHz

DC 12 kHz

噪聲限值

<0.7nT RMS(0.1 Hz ~ 3 kHz)

1.5nTRMS(0.1Hz ~ 5 kHz)

0.5 nT RMS(0.1 Hz - 12 kHz)

直流漂移

N/A

< 2 nT/ 24 hours

< 2 nT/ 24 hours

直流磁場限值

N/A

± 200 μT max 

± 200 μT max 

系統(tǒng)響應時間

10 µs 內(nèi) 

10 µs 內(nèi) 

2µs 內(nèi) 

磁場穩(wěn)定性

<2 nT/24 h@ (20°C?25°C,預熱0.5 h)

衰減系數(shù)

>50 dB @0.1 Hz

>30 dB @50 Hz

>60 dB @0.1 Hz

>40 dB @50 Hz

>20 dB @5 kHz

>60 dB @0.1 Hz

>40 dB @50 Hz

>20 dB @10 kHz


應用領域

1. 生命科學領域的冷凍電鏡

2. 材料科學領域的掃描電鏡

3. 化工領域中的原理分析用電鏡

4. 半導體工藝中的缺陷分析用電鏡

5. 納米制造領域的加工精度保證


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