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武漢漢鼎激光技術有限公司


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紫外激光劃片機

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更新時間:2023-08-31 15:34:06瀏覽次數(shù):97次

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產品簡介

設備描述UV激光劃片機采用紫外激光做為刻蝕光源,通過計算機控制平臺做二維平面內的失量運動,對工件材料進行表面劃線和切割

詳細介紹

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設備描述


  UV激光劃片機采用紫外激光做為刻蝕光源,通過計算機控制平臺做二維平面內的失量運動,對工件材料進行表面劃線和切割。

  UV激光劃片機廣泛應用于硅、鍺、砷化鎵和其他半導體襯底材料的單晶硅、多晶硅、非晶硅片料(如太陽能電池)的劃片、切割。

  紫外激光器采用半導體端面泵浦激光器,輸出355nm紫外激光,取代傳統(tǒng)1064 nm激光(紅外波段),實驗證明:

  ◆對SunPower電池片,使用紫外激光替代光纖激光劃片,暗光下的光電轉換效率明顯提高。

  ◆具有“冷加工"效果,蝕刻中熱影響區(qū)更小;

  ◆激光聚焦光斑直徑與光束質量(M2)和波長成正比。本機采用的端泵激光器光束質量好,且355nm紫外波長只有光纖激光器激光(1064nm)波長的三分之一,所以其聚焦光斑更小,刻線更窄。

  ◆二維工作臺采用伺服(步進)電機驅動,可由計算機系統(tǒng)控制下進行各種精確運動,系統(tǒng)分辨率高。

  ◆全封閉光學系統(tǒng),使設備整機運行更穩(wěn)定,特別適合高精度快速劃片。


技術參數(shù)


紫外技術參數(shù).jpg



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