
ZPT-S大理石隔振光學(xué)平臺
產(chǎn)品特點:
■臺面材料采用優(yōu)質(zhì)濟(jì)南青大理石,表面精度高,耐腐蝕性強(qiáng)
■內(nèi)置精密空氣彈簧隔振系統(tǒng),具備優(yōu)異的隔振性能,自動調(diào)節(jié)水平功能
■該產(chǎn)品適用于平面度要求高的實驗
技術(shù)指標(biāo):
■平面度:00級
■固有頻率:1.0Hz~1.5Hz
■固有頻率:1.0Hz~1.5Hz
■減振效率:x方向<5Hz時:86%~92% y方向<5Hz時:84%~90%
■重復(fù)定位精度:±0.05mm
x方向<10Hz時:90%~96% y方向<10Hz時:88%~93%
■振幅:< 1.0μm■重復(fù)定位精度:±0.05mm
接受客戶任意規(guī)格定制生產(chǎn)
(1)氣浮隔振型 裝備地點:舜宇光學(xué)科技集團(tuán)公司 產(chǎn)品規(guī)格:1500*1200*800mm

(2)阻尼隔振型 裝備地點:中山大學(xué)微電子學(xué)院 產(chǎn)品規(guī)格:1500*1200*800mm
