顯微激光測振儀，是一款全新的集多功能于一身的非接觸式振動(dòng)測量儀器，也是一款可視化顯微測量分析的理想工具。顯微激光測振儀它可以通過顯微光學(xué)系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)對微小物體的振動(dòng)測量，可以**測量MEMS等微小結(jié)構(gòu)元器件的振動(dòng)和形貌，激光光斑達(dá)微米量級，并可通過顯微成像系統(tǒng)實(shí)時(shí)觀察物體的振動(dòng)狀態(tài)（頻率、速度、加速度、位移）等信息。

詳細(xì)介紹

顯微激光測振儀

顯微激光測振儀特點(diǎn)：

非接觸測量，無負(fù)載；

激光光斑極小，微米級；

*的帶寬和動(dòng)態(tài)范圍；

高空間分辨率；

工作距離可選；

高靈活性、易安裝、易操作；

振動(dòng)傳感器結(jié)構(gòu)緊湊、性能穩(wěn)定、抗外力沖擊、測量精度高

配有同軸照明裝置和相機(jī)，可以方便迅速地確定測量位置。

顯微激光測振儀擴(kuò)展功能：

利用顯微鏡視頻閃頻技術(shù)測量物體面內(nèi)振動(dòng)特性(可定制)

通過白光干涉測量物體形貌特性(可定制)

顯微激光測振儀應(yīng)用領(lǐng)域：

微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）動(dòng)態(tài)測試

生命科學(xué)、醫(yī)學(xué)、動(dòng)物學(xué)研究，如昆蟲等生物的活體的振動(dòng)特性測量

計(jì)算機(jī)外設(shè)的動(dòng)態(tài)測試：硬盤驅(qū)動(dòng)器、光盤機(jī)、磁帶機(jī)、頭/盤接口等；

超聲振動(dòng)測量

壓電陶瓷振動(dòng)測量

弦線/絲線振動(dòng)特性測量

微型陀螺儀振動(dòng)測量

顯微激光測振儀技術(shù)參數(shù)
工作溫度	3℃ - 45℃
工作濕度	<90%
電源	220 - 240Vrms，50-60Hz
激光波長	He-Ne Laser 632.8nm
速度量程① （可選）	50mm/s，100mm/s，500mm/s 1m/s，5m/s，10m/s
輸出電壓	±10V
頻率范圍	DC 25kHz/100kHz/1MHz/2.5MHz （根據(jù)解調(diào)卡而定）
濾波設(shè)置	高通低通濾波設(shè)置
速度分辨率②	1um/s
位移分辨率	0.008nm @ 20KHz 0.32nm @ 500Hz
大線性誤差	1.00%
機(jī) 架（標(biāo)準(zhǔn)配置）	反射用機(jī)架，低手位粗微同軸調(diào)焦機(jī)構(gòu)。粗調(diào)行程25mm，微調(diào)精度0.001mm。帶有防止下滑的調(diào)節(jié)松緊裝置和隨機(jī)上限位裝置。內(nèi)置100-240V寬電壓系統(tǒng)。
光學(xué)參數(shù)	檢測器尺寸：1/2 測量距離：9mm（使用10X物鏡時(shí)）
觀測裝置	CMOS數(shù)碼相機(jī)： 320萬像素（USB2.0）

注 ① 可以根據(jù)客戶要求選擇適當(dāng)量程

②采用高分辨率解調(diào)卡，速度分辨率可達(dá)0.02um/s

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