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超高分辨場發(fā)射掃描電子顯微鏡SU8600系列

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蘇州紐銘科學(xué)儀器有限公司

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產(chǎn)品簡介

SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場成像技術(shù)，同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。

詳細(xì)介紹

隨著快速數(shù)據(jù)采集和數(shù)據(jù)處理技術(shù)的發(fā)展，電子顯微鏡進(jìn)入了一個不僅重視數(shù)據(jù)質(zhì)量，而且重視其采集過程的時代。SU8600系列秉承了Regulus8200系列的高質(zhì)量圖像、大束流分析及長時間穩(wěn)定運(yùn)行的冷場成像技術(shù)，同時還大大提升了高通量、自動數(shù)據(jù)獲取能力。

*設(shè)備照片包含選配項(xiàng)。

特點(diǎn)

超高分辨成像

日立的高亮度電子源可保證了即使在超低著陸電壓下，也可獲得超高分辨的圖像。

0.8 kV電壓條件下觀察RHO型沸石的實(shí)例。左圖為顆粒整體的形貌,右圖為放大圖像，顆粒表面細(xì)微的臺階結(jié)構(gòu)清晰可見。低電壓觀察對于減少電子束損傷和獲取表面形狀信息較為有效。

樣品提供：日本工業(yè)技術(shù)綜合研究所上村佳大先生

高襯度的低加速電壓背散射圖像

3D NAND截面觀察;
在低加速電壓條件下，背散射電子信號能夠明顯的顯示出氧化硅層和氮化硅層的襯度差別。

3D NAND截面觀察（加速電壓：1.5kV）

快速BSE圖像：新型閃爍體背散射電子探測器(OCD)^*

由于使用了新型的OCD探測器，即使掃描時間不到1秒，也仍然可以觀察到Fin-FET清晰的深層結(jié)構(gòu)圖像.

5納米制程SRAM的內(nèi)部結(jié)構(gòu)觀察（加速電壓：30kV，掃描時間<1秒）

的自動化功能^*

EM Flow Creator 允許客戶創(chuàng)建連續(xù)圖像采集的自動化工作流程。EM Flow Creator將不同的SEM功能定義為圖形化的模塊，如設(shè)置放大倍率、移動樣品位置、調(diào)節(jié)焦距和明暗對比度等。用戶可以通過簡單的鼠標(biāo)拖拽，將這些模塊按邏輯順序組成一個工作程序。經(jīng)過調(diào)試和確認(rèn)后，該程序便可以在每次調(diào)用時自動獲得高質(zhì)量、重現(xiàn)性好的圖像數(shù)據(jù)。

靈活的用戶界面

原生支持雙顯示器，提供靈活、高效的操作空間。6通道同時顯示與保存，實(shí)現(xiàn)快速的多信號觀測與采集。

1,2,4 或6通道信號可在同一個顯示器上同時顯示，可切換內(nèi)容包括SEM各探測器以及樣品室相機(jī)和導(dǎo)航相機(jī)。可以通過使用兩個顯示器來擴(kuò)展工作空間，可定制的用戶界面以提高工作效率。

規(guī)格

機(jī)型		SU8600 系列
電子光學(xué)系統(tǒng)	二次電子像分辨率	0.6 nm@15 kV
	二次電子像分辨率	0.7 nm@1 kV *
	放大倍率	20 to 2,000,000 x
	電子槍	冷場發(fā)射電子源，支持柔性閃爍功能，包含陽極烘烤系統(tǒng)。
	加速電壓	0.5 to 30 kV
	著陸電壓 *	0.01 to 20 kV
探測器	（部分為選配項(xiàng)）	上探測器(UD)
		UD ExB能量過濾器，包含SE/BSE信號混合功能
		下探測器(LD)
		頂探測器(TD)
		TD能量過濾器
		鏡筒內(nèi)背散射電子探測器(IMD)
		半導(dǎo)體式背散射電子探測器 (PD-BSED)
		新型閃爍體式背散射電子探測器(OCD)
		陰極熒光探測器(CLD)
		掃描透射探測器(STEM Detector)
附件	（部分為選配項(xiàng)）	導(dǎo)航相機(jī)、樣品室相機(jī)、X射線能譜儀(EDS)、背散射電子衍射探測器(EBSD)
軟件	（部分為選配項(xiàng)）	EM Flow Creater、HD Capture( 40,960×30,720 像素）
樣品臺	馬達(dá)驅(qū)動軸	5軸馬達(dá)驅(qū)動（X/Y/R/Z/T）
	馬達(dá)驅(qū)動軸	X：0~110 mm
		Y：0~110 mm
		Z：1.5~40 mm
		T：-5~70^°
		R：360^°
樣品室	樣品尺寸	直徑：150 mm